[发明专利]一种光探测器、制备方法以及光模块

摘要

本申请提供的光探测器、制备方法以及光模块，光探测器包括：衬底以及设置在衬底上方的掩埋层；位于掩埋层内的光耦合器和脊波导，脊波导包括连接的连接部和掺杂部，连接部的一端连接光耦合器，高速信号光通过光耦合器耦合传输至连接部；横向排列设置在掺杂部的N型掺杂区、P型电荷区、雪崩倍增区、P型掺杂区、N型接触区和P型接触区以及设置在掺杂部顶面上的锗吸收层；一端电连接N型接触区、另一端设置在掩埋层表面的第一电极，一端电连接P型接触区、另一端设置在掩埋层表面的第二电极。本申请实施例提供了一种光探测器、制备方法以及光模块，提高光接收的带宽和响应度。