[发明专利]一种测试多层薄膜结构热物理性质的无损电测方法有效
| 申请号： | 202110868843.3 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113533424B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 陈震;李涛;赵晓冬 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N25/18;G01N25/00 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 郝雅洁 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种测试多层薄膜结构热物理性质的无损电测方法，包括以下步骤：通过实验测试得到微加热器的实际温度变化；根据温度和热流连续性假设求解热扩散方程，结合热散射矩阵，得到微加热器理论温度变化的解析表达式，解析表达式与通入微加热器的交流电流的幅值与频率、多层薄膜结构的各层薄膜厚度、导热系数及体积比热关联；将实验测试中微加热器的相关参数作为已知量以及每一交流电流的频率点下假设的热物理参数，代入解析表达式，计算得到理论温度变化；将实际温度变化和理论温度变化进行拟合，即可提取出各层的热物理性质。本发明避免对样品进行多次磨片、剖光，实现精确快速实时检测多层结构材料各层热物理性质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 多层 薄膜 结构 物理性质 无损 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110868843.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
