[发明专利]中灰镜及其制备方法、制备装置在审
| 申请号： | 202110869100.8 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113549888A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 卢仁;尧俊;陈金龙;吴永辉;张睿智;羊彦;刘风雷 | 申请（专利权）人： | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供一种中灰镜及其制备方法、制备装置，涉及触摸屏技术领域，该方法包括在反应室内分别设置第一靶材、第二靶材和基片，并连续旋转基片；通过工作气体同时轰击第一靶材和第二靶材；基片的沉积面面向第一靶材，在基片的沉积面上形成非导电物材料；基片的沉积面面向第二靶材，在基片的沉积面上形成滤光材料；基片的沉积面上形成非导电物材料和滤光材料的混合材料薄膜层，得到中灰镜。通过连续旋转基片，非导电物材料和滤光材料会交替沉积于旋转的基片上，最终获得结构均一的混合材料薄膜层，得到中灰镜，兼具非导电特性和滤光特性，既有高电阻的特性，又保持了中灰镜的滤光特性。 | ||
| 搜索关键词： | 中灰镜 及其 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
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