[发明专利]含氟光致产酸剂及其制备方法与应用在审

专利信息
申请号: 202110872948.6 申请日: 2021-07-30
公开(公告)号: CN113548988A 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 董其宝;符勇 申请(专利权)人: 安徽庆润新材料技术有限公司
主分类号: C07C309/42 分类号: C07C309/42;C07C303/32;C07C381/12;C08F220/18;C08F220/38;C08F220/32;C08F212/14;G03F7/004
代理公司: 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 代理人: 缪璐欢
地址: 230088 安徽省合肥市高新区望江西路50*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种含氟光致产酸剂,涉及光敏树脂合成技术领域,含氟光致产酸剂包括结构式E、结构式F所示的化合物中的一种或两种,或所述含氟光致产酸剂的结构式为结构式E或结构式F如下:本发明还提供上述本发明的含氟光致产酸剂的制备方法及应用。本发明的有益效果在于:本发明的含氟光致产酸剂及其光敏树脂在193nm处具有低吸收,较高的光学透明性;具有较高的热稳定性能。将产酸剂接枝到聚合物主链上与其他功能性的单体进行共聚,可以有效的降低相分离,防止产酸剂产生的H+向未曝光区域扩散,降低LER,提高感光度和分辨率,同时也具有较低的气体排放的优点。
搜索关键词: 含氟光致产酸剂 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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