[发明专利]一种具有低N面串联接触电阻的半导体激光器在审
申请号: | 202110873942.0 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113659438A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 林涛;解佳男;穆妍;孙婉君;李亚宁 | 申请(专利权)人: | 西安理工大学 |
主分类号: | H01S5/30 | 分类号: | H01S5/30;H01S5/02 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 杨洲 |
地址: | 710048*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种具有低N面串联接触电阻的半导体激光器,包括从上至下依次设置的:P面电极,P型欧姆接触层,P型限制层,上波导层,量子阱,下波导层,N型限制层,N型缓冲层,N型衬底,N型重掺杂层,N面电极。本发明具有低N面串联接触电阻的半导体激光器,采用在N型衬底上制备一层N型重掺杂层,该重掺杂层与N面复合金属电极形成良好欧姆接触使其具有低N面串联接触电阻,可解决长期以来N型衬底无法同时保证重掺杂和低缺陷、低杂质光吸收的问题,可以有效解决N面电极接触电阻大的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 串联 接触 电阻 半导体激光器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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