[发明专利]一种碲锌镉靶材的制备方法在审
申请号: | 202110874417.0 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113526955A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 文崇斌;王英洁;朱刘;童培云 | 申请(专利权)人: | 广东先导稀材股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/515 | 分类号: | C04B35/515;C04B35/622 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 纪志超 |
地址: | 511500 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种碲锌镉靶材的制备方法,包括:将碲粉、锌粉和镉粉混合,得到混合粉体;将所述混合粉体进行真空热压烧结,得到碲锌镉靶材。本发明提供的碲锌镉靶材的制备方法,制备得到的碲锌镉靶材相对密度大于99%,游离镉和游离碲小于200ppm,而且工艺简单,本发明直接采用三种粉末合成碲锌镉靶材,不需合成碲化镉和碲化锌,减少工艺操作,节约成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 碲锌镉靶材 制备 方法 | ||
【主权项】:
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