[发明专利]半导体器件及其制作方法在审
| 申请号： | 202110875857.8 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113594161A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 苏炳熏;杨展悌;叶甜春;罗军;赵杰;薛静 | 申请（专利权）人： | 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院;澳芯集成电路技术（广东）有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/092 | 分类号： | H01L27/092;H01L21/8238 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姚璐华 |
| 地址： | 510535 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体器件及其制作方法，所述半导体器件包括：半导体衬底；设置在所述半导体衬底内的N型阱区；设置在所述N型阱区背离所述半导体衬底表面内的P型阱区；所述P型阱区背离所述N型阱区的一侧具有多个器件模块，所述器件模块包括至少一个MOS单元；相邻所述器件模块之间具有深沟槽隔离结构；同一所述器件模块中，如果具有多个MOS单元，相邻所述MOS单元之间具有浅沟槽隔离结构；其中，所述深沟槽隔离结构的底部位于所述N型阱区内，所述浅沟槽隔离结构的底部位于所述P型阱区内。本发明通过设置双沟槽隔离结构，在减小区域面积的同时，可以增加设计弹性，使电路设计更加灵活，并且可以降低成本，提高器件性能，降低功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东省大湾区集成电路与系统应用研究院;澳芯集成电路技术（广东）有限公司，未经广东省大湾区集成电路与系统应用研究院;澳芯集成电路技术（广东）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110875857.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：红外测温装置
- 下一篇：一种基于无人机输配电线路故障检测方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
