[发明专利]一种复合AlN模板及其制备方法有效
| 申请号： | 202110878279.3 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113410352B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 徐广源;蒋国文;樊怡翔;常煜鹏 | 申请（专利权）人： | 山西中科潞安紫外光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12;H01L33/44;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 周新楣 |
| 地址： | 047500 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种复合AlN模板及其制备方法，所述复合AlN模板包括衬底(1)，所述衬底(1)的正面设有GaN层或Al |
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| 搜索关键词： | 一种 复合 aln 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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