[发明专利]隔离器在审

专利信息
申请号: 202110878852.0 申请日: 2021-08-02
公开(公告)号: CN115117027A 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 大黑达也 申请(专利权)人: 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
主分类号: H01L23/64 分类号: H01L23/64;H01L49/02
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 刘英华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式的隔离器具有下部电极、第一绝缘层、第二绝缘层、上部电极和低介电常数部。所述第一绝缘层设置于所述下部电极上,在上部具有突部。所述第二绝缘层设置于所述突部上,从所述突部的正上方区域向侧方延伸。所述第二绝缘层的相对介电常数比所述第一绝缘层的相对介电常数高。所述上部电极与所述第二绝缘层的上表面接触。所述低介电常数部与所述突部的侧面以及所述第二绝缘层的下表面接触。所述低介电常数部的相对介电常数比所述第一绝缘层的相对介电常数低。
搜索关键词: 隔离器
【主权项】:
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