[发明专利]杂散光测量装置及方法

摘要

本申请涉及一种杂散光测量装置及方法，利用激光器输出激光。输出后的激光经分光镜和准直透镜进入声光移频单元进行移频。移频后的移频光经收集透镜聚焦到待测物表面上。之后，利用收集透镜收集待测物表面的杂散光。被收集的杂散光经声光移频单元、准直透镜和分光镜，回到激光器的激光腔内，与腔内激光发生自混合干涉。混合干涉后的干涉光经分光镜进入信号解调处理器内，以检测待测物表面的杂散光水平。激光回馈特有的增益系数可以将微弱的信号进行放大，通常可以到106，发生自混合干涉以后，激光器再次出射的激光即包含了待测物表面杂散光水平的信息，将其送入信号处理单元中即可得到待测物表面的杂散光水平。