[发明专利]NOR型存储器件及其制造方法及包括存储器件的电子设备在审

专利信息
申请号: 202110883350.7 申请日: 2021-08-02
公开(公告)号: CN113707666A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 朱慧珑 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L27/11575 分类号: H01L27/11575;H01L27/11582;H01L27/11573;H01L27/1157;H01L27/1159;H01L27/11592;H01L27/11595;H01L27/11597;G11C16/08
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 倪斌
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 公开了一种NOR型存储器件及其制造方法及包括该NOR型存储器件的电子设备。根据实施例,该NOR型存储器件可以包括:存储器件层,包括第一源/漏区和第二源/漏区以及第一源/漏区与第二源/漏区之间的第一沟道区;竖直延伸以穿过存储器件层的第一栅堆叠,包括第一栅导体层和设置在第一栅导体层与存储器件层之间的存储功能层,在第一栅堆叠与存储器件层相交之处限定存储单元;存储器件层上的选择器件层,包括第三源/漏区和第四源/漏区以及第三源/漏区与第四源/漏区之间的第二沟道区;设置在第一栅堆叠上方的第二栅堆叠,竖直延伸以穿过选择器件层;以及连接部,将第三源/漏区电连接到第一栅导体层。
搜索关键词: nor 存储 器件 及其 制造 方法 包括 电子设备
【主权项】:
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