[发明专利]正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法在审
| 申请号： | 202110885231.5 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN114063388A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 饭尾匡史;浦野宏之;渡边修;竹村胜也 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法。本发明的课题旨在提供可形成微细图案，并可获得高分辨率，且即使于低温硬化时，机械特性亦良好，而且无于高温高湿试验前后的密接力劣化的正型感光性树脂组成物、及正型感光性干薄膜。一种正型感光性树脂组成物，含有：(A)碱可溶性树脂，含有选自聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构；(B)交联性高分子化合物，含有下列通式(1)表示的结构单元，且具有会与(A)成分交联的基团；及(C)感光剂，是因光而产生酸且对于碱水溶液的溶解速度增大的感光剂，为具有醌二叠氮化物结构的化合物。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组成 薄膜 及其 制造 方法 图案 形成 | ||
【主权项】：
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