[发明专利]切割装置以及切割品的制造方法在审
| 申请号： | 202110890597.1 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN114055647A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 片冈昌一;今井一郎;井口晴贵 | 申请（专利权）人： | TOWA株式会社 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/02;H01L21/67;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 王艳波;段丹辉 |
| 地址： | 日本国京都府京*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够以较低成本检测工件的高度位置的切割装置以及切割品的制造方法。切割装置构成为切割工件。该切割装置具备光源、拍摄部和检测部。光源构成为向工件投影光图案。拍摄部构成为拍摄光图案并生成第一图像数据。检测部构成为基于第一图像数据检测工件的高度位置。由光源投影光图案的方向与拍摄部拍摄光图案的方向形成的角度大于0°。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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