[发明专利]一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵在审
| 申请号： | 202110891834.6 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN113566690A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘强;张亮;任世瑜;罗珂;陈林 | 申请（专利权）人： | 北京中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术开发区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵，属于磁悬浮设备技术领域，其中，电涡流传感器组件包括：安装座，具有中心通孔；电感探头，具有围绕所述中心通孔对称设置的多个，所述电感探头沿所述中心通孔的径向位置可调的连接在所述安装座上；本发明的电涡流传感器组件，电感探头在安装座上能够进行径向调整，从而便于根据需进行监测的轴径，进行精确调整电感探头的位置，提高电涡流传感器组件的精度，以及可适配的轴径的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涡流 传感器 组件 具有 磁悬浮 分子 | ||
【主权项】：
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