[发明专利]流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质在审
| 申请号： | 202110892747.2 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN114063658A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 德永和弥 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李成必;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，即使设定流量的大小发生变化，最终也能将内部的压力保持为较低、将流量传感器的灵敏度保持为较高，并提高流量控制精度，装置包括：阻力流量计算器，根据第一压力传感器测量的第一压力以及第二压力传感器测量的第二压力，计算流过流体阻力的流体的流量即阻力流量；第一阀流量换算器，根据第一压力从阻力流量换算通过第一阀的流体的流量即第一阀流量；第二阀流量换算器，根据第二压力从阻力流量换算通过第二阀的流体的流量即第二阀流量；第一阀控制器，以使第一设定流量与第一阀流量的偏差变小的方式控制第一阀；第二阀控制器，以使第二设定流量与第二阀流量的偏差变小的方式控制第二阀。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 控制 装置 方法 程序 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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