[发明专利]一种压电MEMS扬声器在审
| 申请号： | 202110895037.5 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN115706905A | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 李冠华;刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种压电MEMS扬声器，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；第一电极层，形成在所述振动支撑层上方；压电层，形成在所述第一电极层上方；第二电极层，形成在所述压电层上方；其中，第一凹槽从所述第二电极层的上表面延伸至所述振动支撑层的上表面并露出所述振动支撑层，露出的所述振动支撑层具有第二凹槽，所述第二凹槽从所述振动支撑层的上表面延伸至所述振动支撑层的下表面。本申请所提供的压电MEMS扬声器结构分为两部分，分别为高音扬声器的边缘部分和低音扬声器的中心部分，以及连接二者的镂空的振动支撑层，从而提高了整个频率段的听觉效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 扬声器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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