[发明专利]一种压电MEMS扬声器在审

专利信息
申请号: 202110895059.1 申请日: 2021-08-03
公开(公告)号: CN115706906A 公开(公告)日: 2023-02-17
发明(设计)人: 李冠华;刘端 申请(专利权)人: 安徽奥飞声学科技有限公司
主分类号: H04R19/02 分类号: H04R19/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 一种压电MEMS扬声器。本申请公开了一种MEMS结构,包括:衬底,包括经连杆连接的内环体和外环体,所述内环体和所述外环体之间具有第一空腔,所述内环体内具有第二空腔;压电复合振动层,形成在所述衬底上方,包括形成在所述外环体上方的边缘部分和形成在所述内环体上方的中心部分,所述边缘部分和所述中心部分之间具有分割间隙。综上,本申请所提供的压电MEMS扬声器的压电复合振动层包括边缘部分和中心部分,其中,边缘部分用于产生高频声压级,中心部分用于产生低频声压级。边缘部分和中心部分的结合使得压电MEMS扬声器具有范围更宽的较为平坦的声压级频响曲线,提高了整个频率段的听觉效果。
搜索关键词: 一种 压电 mems 扬声器
【主权项】:
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