[发明专利]检测探针的制造方法及制造装置在审
| 申请号： | 202110895382.9 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN114076840A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 曺惺铉 | 申请（专利权）人： | 李诺工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 贺财俊;臧建明 |
| 地址： | 韩国釜山市江西*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种用于检测的探针的制造方法及制造装置。制造方法包括以下步骤：通过微机电系统(MEMS)工艺配备多个端子通过系杆连接到支撑框架的端子集合；配备具有沿长度方向贯通的中空部的筒形的筒体；将所述筒体的一端部插入到所述端子集合的各端子并固定；以及通过所述系杆将固定在所述筒体的一端部的端子分离。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 探针 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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