[发明专利]一种化学机械研磨头在审
| 申请号： | 202110895810.8 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113561055A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 赣州市业润自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B55/03 |
| 代理公司： | 合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152 | 代理人： | 周翠娟 |
| 地址： | 341000 江西省赣州*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨头，包括研磨部、连接部、进出水部和隔离管，研磨部内设有涡旋槽道，涡旋槽道连接有进水管和出水管，进水管和出水管与进出水部连接，隔离管将进水管和出水管隔开。本发明通过在研磨头内设置冷却水路，可快速、有效的对研磨头进行冷却，改善化学机械研磨的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 | ||
【主权项】：
暂无信息
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