[发明专利]超硬增透薄膜及制备方法在审
| 申请号： | 202110897009.7 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113774324A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 刘保磊 | 申请（专利权）人： | 维达力实业（赤壁）有限公司;万津实业（赤壁）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/10;C23C14/35;G02B1/115 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 王南杰 |
| 地址： | 437300 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超硬增透薄膜及其制备方法。超硬增透薄膜包括超硬膜层以及交替层叠设置的低折射率膜层、高折射率膜层，低折射率膜层的折射率低于高折射率膜层的折射率，低折射率膜层和/或高折射率膜层上连接有超硬膜层。超硬增透薄膜制备方法包括如下步骤：对制备低折射率膜层的材料采用磁控溅射成膜，形成低折射率膜层；对制备高折射率膜层的材料采用磁控溅射成膜，形成高折射率膜层；将制备超硬膜层的材料采用磁控溅射成膜，形成超硬膜层。超硬增透薄膜具备高透过率、纳米硬度15GPa以上，莫式硬度6以上，能够通过2000次循环以上的线性拖磨测试，在400nm～700nm波段范围内的平均透光率均能达到减反射效果。 | ||
| 搜索关键词： | 超硬增透 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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