[发明专利]一种照明光路系统及曝光光学系统有效
| 申请号： | 202110902401.6 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN113655598B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 李金;胥涛棚;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/22 | 分类号： | G02B13/22;G03B21/20;G03B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出三段式照明光路系统，包括：前段子系统，用于收集照明光路前端的匀光部件出射的光束，中段子系统，用于对前段子系统输出的光束进一步汇聚，后段子系统，用于将中段子系统汇聚后的光束投射至数字微镜器件上，通过调整中段子系统的焦距改变照明光路系统的放大倍率，从而可以选择较大的放大倍率来降低对匀光部件的加工要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 明光 系统 曝光 光学系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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