[发明专利]镀膜机开关门装置、系统,开关门控制方法以及镀膜机有效

专利信息
申请号: 202110903933.1 申请日: 2021-08-06
公开(公告)号: CN113464009B 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 蒋毅;刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;陆其彬 申请(专利权)人: 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
主分类号: E05F15/53 分类号: E05F15/53;E05F15/40;E05F15/70;E05F15/73;E05F15/77;C23C14/00;C23C16/00
代理公司: 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 代理人: 余永文
地址: 528000 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南3*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请涉及一种镀膜机开关门装置、系统,开关门控制方法以及镀膜机;所述真空镀膜机包括:真空腔室,与所述真空腔室连接的腔门,所述腔门通过合页与真空腔室连接;该开关门装置包括:设置在所述腔门上的门板把手,设置在所述真空腔室外侧的固定底座,连接所述固定底座的驱动部件,以及连接所述驱动部件与门板把手之间的转动连接部件;在真空镀膜机开关门过程中,所述驱动部件驱动所述门板把手运动,使得真空门绕所述合页转轴转动,开启或者关闭所述腔门。实现了智能化控制功能,降低了操作者开关镀膜机腔门的风险,降低了开关门过程对镀膜机的冲击,提升了设备安全性。
搜索关键词: 镀膜 开关 装置 系统 门控 方法 以及
【主权项】:
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