[发明专利]一种光电混合相变存储器测试系统及方法在审
| 申请号： | 202110910352.0 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113655312A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘波;魏涛;吴奔;胡敬;李宛飞;程淼;刘倩倩;凌云 | 申请（专利权）人： | 苏州科技大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R27/08;G11C29/08;G11C29/56 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王玉仙 |
| 地址： | 215009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光电混合相变存储器测试系统及方法，包括：激光器模块，用于对样品提供诱导其相变材料相变的激光信号；电学测试模块，用于对样品提供测量信号并测试其相变材料相变所产生的电学性能变化；微控探针台，用于对样品引入并施加激光信号或测量信号；所述控制模块，用于根据测试指令控制激光器模块和电学测试模块在微控探针台上进行引入和切换。本发明可满足光电混合相变存储器的相变材料筛选和器件原理性验证等功能，操作简便，功能齐全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电 混合 相变 存储器 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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