[发明专利]一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法有效
申请号: | 202110910692.3 | 申请日: | 2021-08-09 |
公开(公告)号: | CN113461885B | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 张洁;纪爱亮;王光辉;张成;王文芳;董栋;张宁 | 申请(专利权)人: | 北京彤程创展科技有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
主分类号: | C08G8/24 | 分类号: | C08G8/24;G03F7/004 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 李爱民 |
地址: | 102600 北京市大兴区北京经济*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请涉及光刻胶技术领域,具体公开了一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法。所述制备方法包括制备步骤和纯化步骤,制备步骤:单羟基甲酚、多羟基苯酚和醛类化合物在酸性催化剂和水的条件下进行反应,得到反应液;纯化步骤:首先中和剂中和反应液,并分出水相;然后进行水洗处理,并分出水相;最后在35~80℃温度下进行干燥,得到光刻胶用酚醛树脂。所述光刻胶用酚醛树脂是由上述制备方法制备而得。本申请通过在酚醛树脂的结构中适当引入多羟基苯酚,提高酚醛树脂的耐热性,进而提高光刻胶的感光灵敏度、分辨率和反差,同时还可以调节酚醛树脂的碱溶解速率。 | ||
搜索关键词: | 一种 光刻 酚醛树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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