[发明专利]一种水基晶圆边胶清洗剂在审
| 申请号： | 202110911303.9 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113462486A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 刘小勇;田博;房龙翔;叶鑫煌 | 申请（专利权）人： | 福建省佑达环保材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/78 | 分类号： | C11D1/78;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/386;C11D3/60 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 刘佳;蔡学俊 |
| 地址： | 362800 福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于晶圆制程工艺中对晶圆边胶进行清洗的水基清洗剂，该清洗剂由烷链醇胺、芳香醇类溶剂、表面活性剂、生物酶及去离子水组成，能有效解决现有技术中晶圆边缘因光刻胶堆积、难以清除，从而导致的产品良率及性能不佳等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水基晶圆边胶清 洗剂 | ||
【主权项】：
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