[发明专利]一种PVD法生产硒化锌的改进装置及生产方法在审
| 申请号： | 202110912238.1 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113564704A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 杨锦春;王劲;吴玉堂;朱敏 | 申请（专利权）人： | 南京波长光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/12 | 分类号： | C30B28/12;C30B29/48 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211121 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PVD法生产硒化锌的改进装置及生产方法,PVD法生产硒化锌的改进装置，包括蒸发沉积系统和真空系统；蒸发沉积系统包括保温外壳和石英管罩；保温外壳内侧沿轴向分割为蒸发区和沉积区；石英管罩位于保温外壳内侧，位于蒸发区的石英管罩内侧设有盛料组件；位于沉积区的石英管罩内侧设有沉积模具；石英管罩外侧和蒸发区内侧之间设有蒸发加热器，石英管罩外侧和沉积区内侧之间设有沉积加热器；蒸发加热器和沉积加热器之间设有隔热层；位于沉积区的石英管罩端部伸出保温外壳与真空系统连通。上述装置实现了利用PVD法的原理制备大尺寸均匀厚度的硒化锌多晶板料，提高了材料利用率，解决了多数PVD法生产的硒化锌板材两端厚度不一致的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 生产 硒化锌 改进 装置 方法 | ||
【主权项】：
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