[发明专利]石英玻璃坩埚制备工艺及其用于多晶硅铸锭的使用方法在审
| 申请号： | 202110912571.2 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113636744A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 李健;高源;刘丽丽 | 申请（专利权）人： | 烟台核晶陶瓷新材料有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03C17/22;C23C16/40;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 于美霞 |
| 地址： | 265300 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英玻璃坩埚制备工艺及其用于多晶硅铸锭的使用方法，属于坩埚制备领域，其中石英玻璃坩埚制备包括石英玻璃坩埚坯体制备、石英玻璃坩埚坯体打磨和为石英玻璃坩埚坯体添加氮化硅涂层；将制备的石英玻璃坩埚用于多晶硅铸锭的方法包括以下步骤：(1)多晶硅装料；(2)安装石墨护板；(3)通过加热阶段、熔化阶段、长晶阶段、退火阶段和冷却阶段完成多晶硅铸锭。本发明所述的一种石英玻璃坩埚制备工艺及其用于多晶硅铸锭的使用方法，其效果明显优于熔融石英坩埚。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 制备 工艺 及其 用于 多晶 铸锭 使用方法 | ||
【主权项】：
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