[发明专利]敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计有效
申请号: | 202110913158.8 | 申请日: | 2021-08-10 |
公开(公告)号: | CN113791241B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 刘晓智;孙刚;丁凯;苏翼;杨亚杰;李陈征 | 申请(专利权)人: | 北京自动化控制设备研究所 |
主分类号: | G01P15/097 | 分类号: | G01P15/097 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100074 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计,该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环,应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔,振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置,振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件,摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件,第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘,第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 敏感 组件 应力 消除 结构 具有 加速度计 | ||
【主权项】:
暂无信息
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