[发明专利]一种氮化硅粉末的制备方法及其设备有效
| 申请号： | 202110915068.2 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113401882B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 刘宗才;许建文;裴晨艺;许轶雯 | 申请（专利权）人： | 上瓷宗材（上海）精密陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068 |
| 代理公司： | 合肥晟科正创专利代理事务所(普通合伙) 34274 | 代理人： | 刘闯 |
| 地址： | 201400 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化硅粉末的制备方法及其设备，包括对硅粉原料的输送，在反应箱的内部通入氮气，利用二氧化碳激光器对硅粉原料进行照射处理，硅粉和氮气产生光化学反应，得到氮化硅粉末，涉及化学合成技术领域，本发明是通过采用二氧化碳激光器发射二氧化碳激光，对硅粉进行照射，由于硅材料在10.7μm处有一个很强的红外吸收谱，通过二氧化碳激光10.6μm波长符合硅的吸收峰，利用硅材料10.7μm的吸收峰吸收二氧化碳激光的能量，在含有充分氮气的反应箱中产生光化学反应，得到氮化硅粉末，相较于现有技术，在大幅度提高氮化硅粉末制备效率的同时，降低了氮化硅粉末的制备成本，进而有效提高氮化硅粉末的制备生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 粉末 制备 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
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