[发明专利]一种针对离子植入机的进阶智能设备控制系统在审
| 申请号： | 202110915081.8 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113885440A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 曾子明 | 申请（专利权）人： | 上海哥瑞利软件股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/414 | 分类号： | G05B19/414;H01J37/304;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 辇甲武 |
| 地址： | 200000 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种针对离子植入机的进阶智能设备控制系统，其特征在于，包括：远程控制模块，以RCM远程控制机台；数据采集模块，收集当层及前层机台设备的参数和状态参数，同时收集当层及前层制程参数；解析反馈模块，调整反馈方程式，将接收到的调整方式信息反馈给远程控制模块；智能调整模块，利用iDEP分析当层和前层机台设备参数与制程参数，拟定算法，找出关键因子，然后将调整方式反馈回解析反馈模块。本发明能够节省人力及增加机台生产时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 针对 离子 植入 进阶 智能 设备 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海哥瑞利软件股份有限公司，未经上海哥瑞利软件股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110915081.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
