[发明专利]一种N型TOPCon电池及其制备方法

摘要

本申请实施例提供一种N型TOPCon电池及其制备方法，涉及光伏太阳能电池领域。N型TOPCon电池包括硅衬底，硅衬底的正面由里往外设置有硼扩散层、正面氧化铝层、正面氮化硅层，硅衬底的背面由里往外设置有隧穿氧化层、掺杂多晶硅层、背面氧化硅层、背面氮化硅层和背面氧化铝层。制备方法是在硅衬底的正面形成硼扩散层，在背面依次形成隧穿氧化层、掺杂多晶硅层；采用臭氧氧化法和等离子体化学气相沉积法相结合的方法在掺杂多晶硅层上依次制备背面氧化硅层、背面氮化硅层；同时在硼扩散层和背面氮化硅层上沉积氧化铝，分别形成正面氧化铝层和背面氧化铝层；形成正面氮化硅层。该制备方法工艺简单，钝化效果好，电池效率高。