[发明专利]一种用于深紫外微光探测的光敏晶体管的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于深紫外微光探测的光敏晶体管的制备方法，包括如下步骤：步骤一、对衬底进行预处理，并在所述衬底的上方蒸镀导电膜；步骤二、在所述导电膜上曝光显影出第一堆叠区域并在所述第一堆叠区域交替沉积两个周期的Al2O3和HfO2制备出DBR薄膜；步骤三、在所述DBR薄膜上方沉积Mg0.5Zn0.5O光敏层；步骤四、在所述Mg0.5Zn0.5O光敏层上曝光显影出第二堆叠区域，并在所述第二堆叠区域沉积叉指电极层，获得用于深紫外光探测的光敏晶体管。本发明具有提高器件的光电性能、增强器件的电学性能的特点。