[发明专利]一种声表面波谐振器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110918720.6 | 申请日： | 2021-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN113452342A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 宋崇希;姚艳龙;邱鲁岩;王放 | 申请（专利权）人： | 江苏卓胜微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02;H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 岳晓萍 |
| 地址： | 214072 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种声表面波谐振器及其制作方法，该声表面波谐振器包括：压电层；第一金属膜层，第一金属膜层位于压电层的一侧，其中，第一金属膜层包括叉指式换能器和信号传输器，信号传输器与叉指式换能器连接；第一温度补偿膜层，第一温度补偿膜层位于叉指式换能器的远离压电层的一侧，第一温度补偿膜层覆盖叉指式换能器，且第一温度补偿膜层不覆盖信号传输器；阻挡层，阻挡层位于第一温度补偿膜层远离压电层的一侧，阻挡层覆盖第一温度补偿膜层，且阻挡层不覆盖信号传输器。本发明实施例提供的声表面波谐振器及其制作方法，能够实现声表面波滤波器的零温度系数，从而使声表面波滤波器的在全温范围下稳定工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏卓胜微电子股份有限公司，未经江苏卓胜微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110918720.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
