[发明专利]一种用于对半导体废气进行处理的净气器在审
| 申请号： | 202110919092.3 | 申请日： | 2021-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN113634093A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 郑洪 | 申请（专利权）人： | 上海协微环境科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/30 | 分类号： | B01D53/30;B01D53/78;B01D53/26;B01D53/04;B01D46/12 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 林淡如 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于净气器领域，具体为一种用于对半导体废气进行处理的净气器，包括底座，所述底座的顶部两侧分别固定有第一筒体和第二筒体，所述第一筒体的顶部连通有第一导管，所述第一导管的顶部连通有风机，所述风机的顶部连通有进气管；所述第一筒体的内腔中部固定有活性炭过滤网板和高效HEPA过滤网板。本发明根据进入的尾气浓度可利用控制器对曝气机进行调节，从而保证和反应液体的反应充分性，同时能够根据检测结果进行调节网框的倾斜的角度，从而能够调节网框内活性炭颗粒以及吸水树脂颗粒和气体的接触率，从而调整清理效率，从而使得能够根据烟雾的浓度进行调节，保证精准化的处理废气，避免排放出现不合格的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 对半 导体 废气 进行 处理 净气器 | ||
【主权项】：
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