[发明专利]接地共面波导到悬置微带线的宽带过渡结构

摘要

一种接地共面波导到悬置微带线的宽带过渡结构，包括：由上而下依次堆叠设置的第一至第三衬底、设置于第一衬底与第二衬底之间的第一地平面、设置于第三衬底上表面的第二地平面、均匀接地共面波导单元、梯形渐变接地共面波导单元、均匀微带线单元、梯形渐变微带线单元和悬置微带线单元。本发明通过由接地共面波导、微带线、悬置微带线、多段导带等腰梯形渐变结构以及等腰梯形开槽结构的组合，在不增加衬底层数和不附加机械转接结构的情况下，实现了具有较大工作带宽的接地共面波导到悬置微带线的过渡结构，满足三维集成电路中信号宽带、低损耗传输和电路探针测试的需求。