[发明专利]一种用于2μm波段的中红外硅基电光调制器在审
| 申请号： | 202110920194.7 | 申请日： | 2021-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN113687528A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 刘雨菲;孙嘉良;蔡艳;余明斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 黄志达 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于2μm波段的中红外硅基电光调制器，包括第一电子掺杂区域、第一空穴掺杂区域、第二空穴掺杂区域、第二电子掺杂区域；本发明可以实现在2μm波段下更低光损耗和更高调制效率的纯硅电光调制器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 波段 红外 电光 调制器 | ||
【主权项】：
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