[发明专利]沉积设备的喷嘴堵塞清除装置及其喷嘴堵塞清除方法在审
| 申请号： | 202110929203.9 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN114100925A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 曹踊晧;徐敏逵;姜有珍;朴俊河;许明洙 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/50 | 分类号： | B05B15/50;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;洪欣 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了沉积设备的喷嘴堵塞清除装置以及使用其的喷嘴堵塞清除方法。沉积设备的喷嘴堵塞清除装置可以包括运载件、喷嘴堵塞清除部、喷嘴堵塞清除部移动构件和运载件移动构件，其中，喷嘴堵塞清除部位于运载件下方，并且包括至少一个喷嘴堵塞清除构件；喷嘴堵塞清除部移动构件在运载件下方移动喷嘴堵塞清除部；运载件移动构件将运载件移动到沉积腔的内部和外部。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 喷嘴 堵塞 清除 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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