[发明专利]一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法有效
| 申请号： | 202110929663.1 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113637946B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 王荣福 | 申请（专利权）人： | 深圳市汉嵙新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 林栋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法，包括以下步骤：步骤1，将柔性基体进行表面清洗，得到清洗后的柔性基体；步骤2，在柔性基体的表面通过辊压导电聚合物膜，得到导电聚合物的复合柔性基体；步骤3，将电聚合物的复合柔性基体置于磁控溅射设备中，使用镓化钒晶体和硒化镓晶体作为双靶材，通过真空磁控溅射镀膜技术，得到柔性磁控溅射金属纳米复合材料。本发明公开了一种在柔性基材上磁控溅射金属纳米复合材料的方法，本发明的制备工艺简单、容易操作且能够具有较好的重复性。所制备得到的材料具有较好的韧性，即使不在高温下进行退火处理，也能具有较高的比容量，且基体与各镀层之间具有较强的结合性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 磁控溅射 金属 纳米 复合材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
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