[发明专利]粒子检测器、粒子检测装置及粒子检测方法在审
| 申请号： | 202110930173.3 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN114112863A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 山根武 | 申请（专利权）人： | 铠侠股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/10 | 分类号： | G01N15/10;H01L39/06;H01L39/22 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施方式涉及一种粒子检测器、粒子检测装置及粒子检测方法。实施方式的粒子检测器包含多个第1线及多个第2线。多个第1线包含超导材料，在第1方向上延伸，在与所述第1方向不同的第2方向上排列。多个第2线在所述第2方向上延伸，在所述第1方向上排列。另外，所述多个第1线与所述多个第2线中间介入有绝缘膜而在与所述第1方向及所述第2方向不同的第3方向上相互重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 检测器 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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