[发明专利]一种柔性多维力传感器、制备方法及其应用有效
| 申请号： | 202110931075.1 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113776719B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 吴豪;王振义;李洋洋 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01L5/16 | 分类号： | G01L5/16;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/20 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 许恒恒 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性多维力传感器、制备方法及其应用。柔性多维力传感器包括自上而下设置的封装层、屏蔽层、曲面结构层、摩擦层、电极层和基底层；所述曲面结构层包括设置在中央的柔性曲面结构部、围绕该柔性曲面结构部设置的柔性支撑部和涂覆于柔性曲面结构部凸起表面上的感应电极；所述柔性支撑部与摩擦层连接，该柔性支撑部的高度满足使得所述柔性曲面结构部的凸起最大处与所述摩擦层相切；所述柔性支撑部、柔性曲面结构部与摩擦层之间围成空腔；所述电极层包括至少2个间隔设置的扇形电极，该些至少2个扇形电极构成的图形与所述柔性曲面结构部的投影大小相同。本申请通过对各个扇形电极输出电信号的分析，可对多维力进行解耦与传感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 多维 传感器 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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