[发明专利]一种计量标准器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110932981.3 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN115704677A | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 李迪 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张李静;张颖玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种计量标准器，包括：晶圆载体；校准用微纳尺度标准片；所述晶圆载体上设有凹槽结构；所述校准用微纳尺度标准片可拆卸地固定在所述凹槽结构内。本申请计量标准器中的校准用微纳尺度标准片可拆卸，满足周期性校准需求，可在长期使用中保证量值的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 计量 标准 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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