[发明专利]离子注入装置及微粒检测方法在审
| 申请号： | 202110941446.4 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN114256044A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 二宫亚纪;八木田贵典;森田刚夫;广濑沙由美 | 申请（专利权）人： | 住友重机械离子科技株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种离子注入装置及微粒检测方法，提高与离子束一起输送的微粒的检测精度。离子注入装置(10)具备：射束线装置(14)，输送离子束；注入处理室(16)，进行向晶圆(W)照射离子束的注入处理；照明装置(64)，在射束线装置(14)内及注入处理室(16)内的至少一者中，向与离子束的输送方向交叉的方向照射照明光(L)；摄像装置(66)，对照明光(L)通过的空间进行拍摄而生成摄像图像；及控制装置(60)，根据摄像图像检测使照明光(L)散射的微粒。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 装置 微粒 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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