[发明专利]一种双轴微机械系统换能器结构在审
| 申请号： | 202110944560.2 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN113582124A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 苏云鹏;凌方舟;蒋乐跃;丁希聪 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（天津）有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 300450 天津市自贸试验区（*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双轴微机械系统换能器结构，其包括：固定基板；可移动基板，其悬置于固定基板上方；多个第一锚定结构，其设置于可移动基板的外侧；多组折叠梁，其设置于可移动基板的外侧，且每组折叠梁均包括相互垂直正交的第一折叠梁和第二折叠梁，第一折叠梁和第二折叠梁均连接可移动基板和对应的第一锚定结构；多个第二锚定结构，其设置于可移动基板的外侧；多个梳齿电容元件，其设置于可移动基板和第二锚定结构之间，梳齿电容元件包括成叉指状排布的可动梳齿和固定梳齿，其可动梳齿与可移动基板连接，其固定梳齿与对应的第二锚定结构连接。与现有技术相比，本发明具有集成度高、正交误差小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 换能器 结构 | ||
【主权项】：
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