[发明专利]一种防止堵塞的蒸镀设备在审
| 申请号： | 202110952637.0 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113621918A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 乔元武 | 申请（专利权）人： | 山东海耀电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 潘剑敏 |
| 地址： | 264006 山东省烟台*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备，包括冷却钳锅机构、蒸镀箱机构、防堵机构，设备能够卡紧基片，设备能够进行旋转蒸镀，设备能够蒸镀后关闭闸门然后进行快速冷却，设备能够保证真空泵的稳定运转，所述的冷却钳锅机构与蒸镀箱机构相连，蒸镀箱机构与防堵机构相连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 堵塞 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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