[发明专利]一种自动化二维材料转移装置在审
| 申请号： | 202110954685.3 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113666112A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 严敬杰;房鑫洁;徐水钢 | 申请（专利权）人： | 单原子微纳米科技(淮安)有限责任公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;G01K13/00;G01N1/44 |
| 代理公司： | 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 | 代理人： | 刘传玉 |
| 地址： | 223003 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明适用于自动化领域，提供了一种自动化二维材料转移装置，包括转移台和样品台；所述样品台包括有样品座、隔热台、真空部件、旋转位移台、第一XY轴位移台和样品台底座；所述转移台包括有转移臂、粗调Z轴位移台、细调Z轴位移台、俯仰偏转位移台、第二XY轴位移台和转移台底座。本发明通过自动化的操作固定样品以及转移用载玻片并自由地控制其位置，从而实现真空超净手套箱中的转移，即实现具备重复性、精确定位性的电控全自动化操作，值得推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 二维 材料 转移 装置 | ||
【主权项】：
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