[发明专利]电容式压力传感器及其制备方法、压力检测系统有效
| 申请号： | 202110956452.7 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113686467B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 李扬渊 | 申请（专利权）人： | 成都蕊感微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 刘茂源 |
| 地址： | 610000 四川省成都市自由贸*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种电容式压力传感器及其制备方法、压力检测系统，压力传感器包括第一电极层、第二电极层、第一弹性电介质层，第一弹性电介质层位于第一电极层与第二电极层之间，第一弹性电介质层具有第一拉伸模量；以及抗压延结构，抗压延结构被配置为限制第一弹性电介质层受到压力时在垂直于压力方向的延展形变。本申请通过抗压延结构限制弹性电介质层在XY平面方向的延展形变，以提高弹性电介质层在Z轴方向的弹性压缩极限，实现了提高压力传感器过载压力和提高量程的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 压力 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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