[发明专利]一种电子束蒸发台行星镀锅装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202110959392.4 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113774332A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 马溢华;赵志强 | 申请（专利权）人： | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 何磊 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束蒸发台行星镀锅装置及其使用方法，其技术方案是：包括行星锅体，所述行星锅体外侧开设有十二个圆槽，其中九个所述圆槽呈圆周状均匀分布在行星锅体外侧壁，另外三个所述圆槽呈品字状分布于行星锅体侧壁中部，多个所述圆槽内侧均固定嵌设有承片圈，多个所述承片圈一侧均设有盖板，所述承片圈与盖板紧密贴合，多个所述盖板顶部两侧均设有固定压片，所述盖板与固定压片相接触，所述固定压片端部一侧设有十字盘头螺钉，所述十字盘头螺钉外侧套设有垫片，本发明的有益效果是：在蒸镀过程中基片不会粘锅，同时盖板与行星锅体通过固定压片间接性的固定，盖板方便安装和拆卸，提高蒸镀效率，降低蒸镀成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 行星 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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