[发明专利]一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件有效
| 申请号： | 202110965435.X | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113820850B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 王强;汪为民;杨欢;方亮;张辉;李国俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 江亚平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，该器件由多个完全相同的单元以一定的规则排列在衬底表面而形成。所述的单元包括支撑柱、镜面和电极。支撑柱起到支撑镜面的作用，镜面中部下方与支撑柱相连，四周边缘悬空。电极位于镜面的正下方，即支撑柱的四周。镜面初始未工作时呈凹面，其曲率可由加工工艺决定。入射平行光照射到镜面，根据几何光学可知反射光将会发生汇聚。给镜面及电极施加一定的直流电势差，则由于静电力的吸引，镜面边缘会向下弯曲，从而使整个镜面由凹面变为凸面，因而将使反射光发散。本发明通过镜面的变形，可以实现汇聚光束的开启和关闭，从而完成了传统微透镜和微快门共同才能完成的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 球面 反射 mems 快门 阵列 器件 | ||
【主权项】：
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