[发明专利]原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 202110966403.1 申请日: 2021-08-23
公开(公告)号: CN113564707B 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 肖帆;周丹 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: C30B29/16 分类号: C30B29/16;C30B7/10;C21D1/26;C22F1/18
代理公司: 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 代理人: 周红芳
地址: 310006 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法,具体实施方式如下:先对基体进行清洗,然后进行退火预处理,将处理后的基体再进行清洗并晾干备用;将钛源、氟源、酸和异丙醇均匀混合并充分搅拌,配置成反应前驱液备用;将基体与反应前驱液移至不锈钢高压反应釜中,在电热鼓风干燥箱中进行水热反应,反应结束后冷却取出基体,用去离子水进行超声清洗,获得表面有二氧化钛薄膜的基体。通过本发明制备得到的薄膜在基体上原位生长形貌均匀、致密且薄。
搜索关键词: 原位 制备 001 曝露 锐钛矿型二 氧化 薄膜 方法
【主权项】:
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