[发明专利]微电子装置及相关存储器装置、电子系统及方法有效
| 申请号： | 202110966680.2 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN114093878B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 翁贝托·M·梅奥托;E·卡梅尔伦吉;P·泰萨里欧;L·罗伦 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | H10B41/41 | 分类号： | H10B41/41;H10B41/50;H10B41/27;H10B43/40;H10B43/50;H10B43/27;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 彭晓文 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本专利申请案涉及微电子装置及相关存储器装置、电子系统及方法。一种形成微电子装置的方法包括形成存储器阵列区域，所述存储器阵列区域包括垂直位于基底结构之上的存储器单元，所述基底结构包括半导电材料及垂直延伸到所述半导电材料中的对准标记结构。形成延伸穿过所述存储器阵列区域且到所述对准标记结构中的第一接触结构。在所述存储器阵列区域之上形成支撑结构。移除所述基底结构的一部分以暴露所述对准标记结构。形成垂直邻近所述基底结构的剩余部分的控制逻辑区域。所述控制逻辑区域包括通过部分延伸穿过所述对准标记结构且接触所述第一接触结构的第二接触结构与所述第一接触结构电连通的控制逻辑装置。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 装置 相关 存储器 电子 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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